K7L-AT50/ AT50D-欧姆龙振动传感器

可设定4级检测范围，低导电率的 药液和一般水都能稳定检测 

• 系列中支持Push-In Plus端子台插座的产品品种齐全 

• 系列中新增了支持连接正极公共端的产品 

• 支持UL-Listed （与Push-In Plus端子台插座同时 使用时*1）

• 采用电极间的电阻检测方式，能对50MΩ的高阻抗液体进行 稳定检测，也能检测IPA或纯水的泄漏 

• 采用3芯电缆的干扰消除回路，提高了抗干扰性

• 采用交流检测方式，防止因电蚀导致电极老化 

• 电源回路与检测回路绝缘隔离，在同一位置可安装多个 传感器

• 检测到断线后，为防止断线部分因发生再次接触导致不稳 定，将保持检测到断线后的动作状态*2 

• 能在危险环境中使用的专用防爆隔离栅形成产品系列 （另售）

• 符合各种安全标准*3

电极间电阻检测方式

从50MΩ电阻液体到普通水都能稳定检测。
可设定4级检测范围，能够根据液体特性检测。

专用防爆隔离栅（另售）

漏液位置检测器在危险环境中也能够使用、具有小型专用防爆隔离栅，已形成产品系列。

交流检测方式

采用交流方式向检测带供给信号，安全不触电。

干扰消除回路（PAT）

使用了3芯电缆的干扰消除回路具有出色的抗干扰性，可稳定检测漏液。

多通道使用

电源回路与检测回路的绝缘，在同一位置可安装多个传感器。

检测半导体生产设施的结露和漏液

可以检测清洗设备内部的结露和周围的漏液。

有优秀的抗化学腐蚀性的检测带

电极采用SUS316，绝缘包层采用聚乙烯。提高了耐酸碱性等。

检测液体化学品存储罐的管接头处的漏液

可将检测带缠绕在管接头处等有可能漏液的部位上检测漏液。

CMP仪器中量筒的液体泄漏检测

能检测泄漏到排水盘中的液体，从而预防装置损坏及晶片的清洗不良。

检测电镀设备的清洗液的液位

检测清洗槽内的纯水水位。
利用高灵敏度的高精度控制防止清洗不良。

注:在防爆区域中如果一个水槽上使用2个以上的K7L，请务必将水槽接地。